投资项目情况
某大一些的半导制作厂家座落在长角形区域,核心生育晶圆和正确处理芯片。在生育的时候中,晶圆切开和镜面抛光阶段性呈现过量碾磨液电镀废水,单日排股票放量量约50吨。仍然电镀废水里有高氧浓度悬停物、金属质阳离子及有机质获取剂,之间排股票放量会对氛围会造成比较严重破坏,厂家急缺修建技术专业正确处理装置。
污水的成分及源头
研磨机液生活污水其首要来源地于晶圆工作中的药剂学机械制造cnc精密机械加工(CMP)多种工序,其首要破坏物具有:
悬浮物粉末物
:二钝化硅、钝化铝等研磨抛光颗粒剂,孔径在0.1-1μm,浓度值高至2000mg/L。
不锈钢化合物
:铜、铁、锌等,产于磨光垫摩擦及晶圆外表彩石层,铜阴离子氨水浓度约50mg/L。
可挥发放入剂
:有接触面生物剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强强碱物
:pH值波动性大,平常在2-11中间。
治理生产工艺方案
共性电镀废水特征,所采用“预工作+生化学+进一步工作”組合鑫霖环保:
控制池
:平衡水环境排水量,移除酸碱平衡自动调节pH至比较适中。
沥青混凝土积淀
:加药系统PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),清掉漂浮物和橡胶胶体部分,沉降后SS清掉率>90%。
离子液体空气氧化
:运用Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)光降解有机质修改剂,COD删去率达60%。
生物学工作
:MBR膜生物体反映器进一次分解剩的有机化学物,COD降为100mg/L下。
亚铁离子交流
:专业树脂胶过滤铜阳离子,喷水铜硫含量<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭过滤水
:保证 溢水清亮,达到《废污水宗合排放量要求规定》(GB8978-1996)1级要求规定。
最后使用效果
体系执行保持稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
回收利用率达40%,累计考核标准废气,年极大减少生活污水废气1.10万吨。
净化处理料工费约15元/吨,远高出行业领域评均。