某半导体设备厂在生孩子的过程中用到硝酸铵系定影液,生成低浓度值含NOx废水处里,日日产量50吨。废水处里中含NO2-敢达2000mg/L,且含少量有机的光刻胶成份,处里困难程度太大。
2. 焦化废水因素及因素
显影液制作工艺废弃物(重点被污染的源)
晶圆清洁工作废水处理工艺
排放物清洗塔排水系统
3. 治理工艺设计操作流程
利用"高级工程师防氧化+有级菌物净化处理"改革创新制作工艺:
臭氧的危害防氧化
:可以通过嗅氧發生器形成O3,将难光降解有机酸物降解为小氧分子产物,也将NO2-硫化为NO3-。
微生物膜现象器(MBR)
:
首要级:环世界自然环境下污泥脱水甲醇用作碳源,提高网站反反硝化作用的反应
第二种级:好氧微生物膜进一部生物降解设计物
化学物质广度净化处理
:采用钛基纳米涂层电级,采用电解设备效应根除葡萄糖氧化的残留物环境破坏物。
4. 之后治疗效果
NOx总氮降下来8mg/L有以下
COD稳定性在30mg/L元
废水处理方法使用率达60%
体系操作耗电量操纵在3.5kWh/吨水,较传统艺术鑫霖环保低碳20%。