该晶圆打造厂是在华东位置位置,核心研发8英尺半导晶圆,单日污水减排量约800吨。因为研发操作过程中运用很大氢佛酸开展晶圆蚀刻,形成污池里氟化物氧化还原电位可以达到200-300mg/L,远超欧洲国家减排原则(10mg/L如下)。
废水处理工艺部分及原因
生产废水大部分来六个过程:
晶圆蚀刻程序
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸银及少量的巨资属
化学上的机械设备制造镜面抛光(CMP)废水处理工艺
:含纳米级级硅科粒、有机会络合剂
仪器清洁工作污水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机化学物
解决的工艺步奏
所采用"化学上的沉积+混凝土沉积+高度过滤程序"3级加工系统软件:
五级清理
:加药系统氯化钙和氢钝化钙,行成氟化钙奠定,氟化物弄掉率达85%
五级整理
:增长PAC(缩聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),清理悬浊液态污染源物
三级分销处置
:使用多有机溶剂脱水器和活力炭吸附性,有水出氟化物溶液浓度不稳在8mg/L一下
最为关键的机械设备也包括:pH手动上下调整系統、斜管积累池、板框隔膜压滤机(活性污泥脱水等)。
决定视觉效果
品牌电脑运行三年期统计数据报告数据报告提示 :
氟化物均匀渗透压:7.2mg/L(降到國家的标准)
COD快速清理率:92%
工业废水水分含量率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副商品约150吨,保证 资源性化使用