该厂为84英寸晶圆产量线生活配套的超纯净水机系统,每周生产含硅废气150吨。废气中虽无天价属,但硅的含量高易水垢,且热敏电阻率需充分满足18MΩ·cm能够回收。改变解决工艺设计尚未充分满足新实行的《光电子重工业水弄脏物排放口量规范》(GB39731-2020)特备排放口量卫生防护距离。
废液化学物质显著特点
核心污染破坏物
:溶液硅(200-300mg/L)、颗料硅(粒级0.1-1μm)
特出规定
:TOC<10μg/L,硼水分含量<5μg/L
水质检测基本特征
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅单质姿态非常复杂
除理工序程序流程
什么是创新分为"梯级膜拆分+电去正离子"搭档鑫霖环保:
微滤预解决
:1μm陶瓷制品膜短信拦截大小粒硅,通量能维持80LMH
化合物互转硅胶粘合剂
:D201大孔树脂胶决定性吸附剂硅酸氧分子
下级RO系統
:首段收购率60%,最后段选择高脱硼膜部件
EDI电去化合物
:瞬时电流比热容2A/m²,快速快速清理稳定度阴阳离子
红外光谱消毒杀菌
:254nm太阳光的紫外线灯线用量40mJ/cm²
技木特色
开发技术專用阻硅剂(生物碳胺类复合材料物),减缓膜空气污染时间段3倍
EDI版块自主创新流道制定,硅出掉率增加至99.8%
在线视频硅研究测试仪(自动测量时间范围0.1-500μg/L)保持精准脱贫保持
使用成果
经3.方检查测量:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L
平台收售率从原40%增强至68%
膜更改寿命提高至5年,年加载直接费用大大减少35%