某半导体设备集成块造成厂在晶圆制作整个过程中,利用硅烷做出硅概念冒出,尾气排放洗洁塔产生高酸度含硅焦化生产废水。焦化生产废水体现了pH下跌大(2-11)、硅占比高的的特点,中国传统鑫霖环保易冒出硅垢淤塞困难。
废污水成份及从何而来
化工废水具体组成为:
熔化分解性硅酸盐
:SiO₂渗透压达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢空气氧化钠
:洗洁塔酸碱度洗洁液杂质
粒子硅
:纳米技术级SiO₂悬浊液
痕量砷
:化学原料残渣带进
操作加工过程步骤流程
企业创新分为"有级中合+膜过滤器+减压蒸馏析出"工艺设计:
一层与
:用CaO调节器pH至4-5,自动生成硅酸钙沉淀出的,硅祛除率60%。
二次元与
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进两步沉淀自己剩于硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置系统性
:0.02μm瓷质膜筛选微米级硅颗料,通量保持稳定在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:萃取高盐废水处理方法,成果出Na₂SO₄副设备,水工业废水处理率超90%。
最中效率
总硅从1500mg/L减少为5mg/L以上
砷含量从0.8mg/L减少为0.01mg/L
控制系统无积垢使用已超2年
年环保再生资源回收氢氧化钠钠硫化锌约800吨