某半导体器件引发厂家因晶圆家电清洗步骤引发含氨污水,用水量200吨/天。污自来水中除高锰酸盐指数外还内含氟化物和轻微巨资属,处里困难大。本省污染物标准的规定高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
化工废水的成分及原因
晶圆家电清洗废水处理工艺(通常原因):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序工业废水:含轻微铜、镍等巨资属,pH值上下波动大
CMP粉磨污废水 :含硅颗粒剂及氟化物
解决加工制作工艺 的流程
应用"生物学沉淀出的+膜剥离+折点氯化"组合公式新工艺:
预整理
:添加CaCl2除氟,调控pH在7.5-8.
超滤膜模式
:剔除0.01μm上文小粒物
反渗透膜工作会更精浓
:将高锰酸盐指数精提至1000mg/L超过
折点氯化
:精确度保持氯加药系统量,将化学需氧量转变成为氢气
正离子对换
:切实保障天价属达到
进而实际效果
化学需氧量保持稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含碳量最低查测限
水中水回用率达75%
厌氧颗粒污泥呈现量缩短40%