上海市某半导体设备电子器件制造技术厂，晶圆手工加工步骤中诞生含硅、氟的特别的废液，方案正确加工处理投资规模1200吨/日。废液成份复杂的，带有纳米级级硅粒子及盐酸，传统式正确加工处理具体方法不易考核标准。 生活污水物质及原因 基本环保问题物 ：胶体溶液硅（100-500nm比表面积）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历工艺 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP耐腐蚀设配cnc精密机械加工污水（40%）、设配消毒水（15%） 进行处理制作工艺流量 创新发展利用"化学上乳浊液+独特的膜提取"技木路线规划： 钙盐沉淀出的 ：加药系统氯化钙的还原氟阳离子（导出CaF2发展） 二沉池化学反应 ：包覆二沉池剂改变电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挪作他用微细顆粒 反侵入体系 ：脱盐率>98%，利用率75% 蒸发器析出 ：浓水段变现氟化物零污染物 最后结果 氟化物盐浓度：<8mg/L（不超过国内七级规则10mg/L） 硅分子量：<5mg/L 污水从而量造纸废水处理率：70%用到散热塔补充水分 危废处理回收利用：挥发食物残渣量较传统型技艺少60%