半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备精致首测生活设施涉重化工废水——MVR强制性重复零排工程项目
工程背静
半导器件中档首测投资項目,总量150每立方米/天,是首届半导器件首测生活配套涉重焦化废水处理零排投资項目。首测缓解的镀镍、镀铜、引线构架拆洗会引起含镍含铜焦化废水处理,项目符合要求"无尾水外排",产水全部的回收利用于产线。
水质检测特证与困惑
废水处置方法以含镍主要(质量浓度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH下跌大(2–12),再有光刻胶剩余的的极少量生产物。首测厂训练场紧,请求处置公用设施征占小;零排象征着浓水不可以建筑垃圾清运许多,须要本地人汽化晶体闭环控制。
正确处理工学院艺自驾线路
整体风格走"分质分类整理 → 预治理除杂 → 化学式结晶除镍 → 过滤程序 → UF+多级RO → MVR二次嵌套循环减压蒸馏 → 冷却水水回收":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢腐蚀钠出现Ni(OH)₂发展,再加上加硫橡胶钠深度.收集残余物镍(加硫橡胶镍Ksp比氢腐蚀镍更小,能够镍压到0.1毫克/升以内);
发展有水出经多有机溶剂过滤程序清洁+门卫过滤程序清洁后进UF,再进4级RO,产水会直接回产线洗涤;
RO浓水(含盐+残渣巨资属)进MVR立即无限间歇挥发掉器,立即无限间歇能扛高含盐积灰,挥发掉器自己带上网上洗掉,很难堵;
MVR冷却水水换回使用养鱼池,减压蒸馏残液委外燃烧或身为危废处理妥善处理,某个加工区无固体外排。
关键所在机械特征证明
MVR二次再循环法相比较硬性降膜蒸馏,再循环法水流量高、热传导面不会结镍盐/碳酸盐垢,适宜公测这类"排水量较小但水硬度杂"的场景中;整体化撬装构思征地赔偿比过去蒸馏塘+多效蒸馏计划书小60%之上;有味道侧匹配动物滤池,把自动调节池和厌氧颗粒污泥间的有味道搜集后分解成CO₂和水,尽量避免公测厂紧靠辦公区的有味道投述。
加工效果好与管理效益
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,具有《化学镀环境破坏物直接水质标准规定》表三;基本150立米米/天产水回收利用于首测产线擦拭,改用等量新鲜毛肚水;危废处理(多效蒸发残液+污水)量比民俗"沉积+直接释放"状态减约70%。对富士康侧,首测的项目环保标准市场准入卡点被揍通;